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[电子信息] 《MEMS材料与工艺手册》PDF电子书下载

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发表于 2020-5-6 08:22:27 | 显示全部楼层 |阅读模式
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基本信息:
【作 者】(美)格迪斯,(美)林斌彦著
【丛书名】微纳系统系列译丛
【形态项】 966
【出版项】 南京:东南大学出版社 , 2014.03
【ISBN号】978-7-5641-4053-3
【中图法分类号】TN4-62
【原书定价】198.00
【主题词】微电子技术-生产工艺-手册-电子材料
【参考文献格式】 (美)格迪斯,(美)林斌彦著. MEMS材料与工艺手册. 南京:东南大学出版社, 2014.03.
内容提要:
微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域,使用的材料种类多、工艺方法复杂,需要系统地归纳、分析与整理,以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料,MEMS加工工艺和制造工艺,MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。

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发表于 2020-8-31 13:51:46 来自手机 | 显示全部楼层
看了这本书很好啊,希望能够下载到PDF版來
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