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[机械书籍] 《微机电系统基础(原书 第二版)》PDF电子书下载

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发表于 2021-2-8 05:17:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
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基本信息:
【作 者】(美)刘昶著;黄庆安译
【丛书名】国外电子电气经典教材系列
【形态项】 398
【出版项】 北京:机械工业出版社 , 2013.02
【ISBN号】978-7-111-40657-0
【中图法分类号】TM38
【原书定价】69.00
【主题词】微电机
【参考文献格式】 (美)刘昶著;黄庆安译. 微机电系统基础 原书第2版. 北京:机械工业出版社, 2013.02.
内容提要:
本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面,同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例:惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器,并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法,既便于比较,又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。

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